電子行業粒子實時在線監測系統除了可選擇無線監測系統外，還可以采用Manifold順序粒子在線監測系統，這是一個較為經濟的方案。該系統配有32個采樣口（即可全選也可部分選擇使用），系統依次對每個監測點進行采樣，采樣輪回周期取決于監測點數量，最小監測粒徑可達0.1μm。亦可搭配無線系統使用。

*多路監控多達32個點的位置                    

*自凈時間短

*雙向控制能力

*多點采樣較為經濟

*采樣管路可長達38.1米

*采樣點順序可編程

*可與流量為28.3L/min(1立方英尺)AeroTRAK便攜式粒子計數器相兼容

*綜合控制器的低復雜性

*雙向控制能力

*使用壓力傳感器以確保真空流量

*雙向步進馬達控制方向

數據實時監控，報警

數據趨勢分析

數據報告導出

3級權限管控

具備后期的擴展性

支持郵件發送

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設備遠程控制

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